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真空装备及技术与应用范围(部分)


一、真空装备制造及配套系统(部分)

(一)、真空装备制造类(部分)


二级溅射镀膜设备
三级四级磁控溅射镀膜设备
射频溅射镀膜设备
反应溅射镀膜设备
离子束溅射镀膜设备
闭合非平衡磁场磁控溅射镀膜设备
......

电阻蒸发镀膜设备
感应蒸发镀膜设备
电子束蒸发镀膜设备
激光束蒸发镀膜设备
离子束蒸发镀膜设备 
空心阴极蒸发镀膜设备
......


(5)分子外延镀膜设备类



(1)磁控溅射镀膜设备类

(2)离子镀膜设备类

热阴极离子镀膜设备
空心阴极离子镀膜设备
电弧离子镀膜设备
活性反应离子镀膜设备
射频离子镀膜设备
......



(3)蒸发镀膜设备类

(4)CVD化学气相沉积镀膜设备类


常压CVD化学气相沉积镀膜设备
低压CVD化学气相沉积镀膜设备
光CVD化学气相沉积镀膜设备
射频PECVD化学气相沉积镀膜设备
直流PECVD化学气相沉积镀膜设备
射频直流PECVD化学气相沉积镀膜设备
直流脉冲PECVD化学气相沉积镀膜设备

原子层沉积技术设备(ALD)
......


分子束外延镀膜设备(MBE)
脉冲激光沉积镀膜设备(PLD)
激光分子束外延镀膜设备(LMBE)
脉冲激光束外延镀膜设备
......




(6)新型显示行业镀膜设备类

AM-OLED镀膜设备
OLED蒸发镀膜设备
PM-OLED无源有机光设备
......


(二)、真空装备制造辅助配套类(部分)


(A)分子泵类
         涡轮分子泵
         增压分子泵
         复合分子
         磁悬浮分子泵
         ......



(C)旋片泵类
         单级旋片泵
         双级旋片泵
         ......

蝶  阀 
插板阀
调压阀 
压差阀
节流阀 
充气阀
截止阀 
翻板阀
电磁阀 
挡板阀
......





高真空排气台

真空隧道系统
真空机械手
真空罐装置
真空墙体加工
真空脱气装置
真空传递墙体
EB电子枪设备
真空钎焊设备
......





(1)真空获得设备类

(2)真空装置系统类

(3)真空阀门类

(4)工业镀膜电源类

HIPIMS电源
RF射频电源
MF中频电源
DC直流电源
脉冲偏压电源
空心阴极电源
电阻蒸发电源
电弧蒸发电源
电子束蒸发镀电源
脉冲直流偏压电源
脉冲直流弧电源
离子源电源
微波电源

HWP螺旋波等离子源
ICP感应耦合等离子体源(RF等离子源)
ECR电子回旋共振等离子体源
CCP容性耦合等离子体源
微波等离子体源
霍尔等离子体源
考夫曼等离子体源
潘宁等离子体源


(5)真空辅助配件类

卡  箍                             真空三通

真空四通                        真空管件

固定法兰                        镀膜伞具
不锈钢夹具                    镀膜梅花架
真空密封件                    焊接波纹管
弹性波纹管                    波纹管接头
真空盲法兰                    铝单边卡箍
KF真空接头                   工具镀膜夹具
溅射镀膜阴极                真空镀膜配件
电子枪及配件                气体管路布置
......




薄膜规                                    晶振片
真空规管                                镀膜阴极
溅射阴极                                阴极电弧
柱弧阴极                                空心阴极
膜层设计                                质谱测量
气体流量计                            热偶真空计
电阻真空计                            振膜真空计
空腔体加热棒                        薄膜设计软件
气密性检漏仪                        氦气制备装置
工控软件编辑                        氦气检漏系统
氦气质谱检漏仪                    六氟化硫检漏仪
......




(6)真空计量及检漏仪类


(7)真空油脂类

真空脂 
真空膏 
真空泵油 
扩散泵油 
分子泵油 
扩散泵硅油
合成真空泵油 
车灯保护膜硅油
......


(D)常规泵类
         滑阀泵
         真空干泵
         溅射离子泵 
         ......

(B)扩散泵类
         凸腔扩散泵
         直筒扩散泵
         ......


(E)低温泵类
         超低温泵
         低温冷阱
         低温冷凝泵
         气体水分子捕集泵-135℃
         冷水机设备
         ......

真空退火炉
真空氮化炉
气烧结炉
真空成型炉
真空还原炉
真空渗碳炉
真空烧结炉
等离子渗热处理设备
其他真空炉
......

清洗机                                校直机
深冷设备                             真空系统
冷却系统                             加热电源
喷丸强化设备                      物料传送设备
淬火压床等                           ......





(1)热处理设备类

(2)热处理辅助设备类

(3)热处理配套材料

涂料                           清洗剂
防锈剂                       耐火砖
电热丝                       辐射管
硅钼棒                       加热元件
筑炉材料                   耐火材料
耐热绝热                   石墨材料
保温材料                   燃烧喷嘴
耐火纤维                   耐热钢等
......



料具                炉衬
网带                电风机
各种泵类         马弗罐
输送带             变压器
换热器             ......


(4)热处理设备配套元件


(5)过程控制及仪器仪表

热电偶温度控制仪                      气氛控制仪表

工艺控制软件                             红外测温装置
传感器(氧探头、氢探头)        热处理工艺气氛
工业气体及其制备系统               气氛发生器等
......


真空淬火炉
真空雾化炉
真空碳管炉
真空速凝炉
低压真空气淬炉
真空回火炉
气体渗氮炉

奥氏体等温淬火炉

真空钎焊炉
真空熔炼炉氢
真空感应炉
真空碳氢炉
真空高压气淬炉
真空氢气炉
气氛炉

二、真空热处理装备及配套系统(部分)

三、真空等离子喷涂装备及辅助系统(部分)


(1)等离子喷涂装备

APS大气等离子喷涂设备
VPS真空等离子喷涂设备
电弧和激光融覆设备
爆炸式喷涂设备
超音速喷涂设备
火焰喷涂设备
冷喷涂设备
送丝设备
......



(2)等离子喷涂辅助设备及配件

配件                                 空压机
送丝机                              防护用品
清洗装置                          废气处理
废液处理                          废渣处理
去除烟尘                          设备和装置
布袋式除尘设备               滤筒式除尘设备
通风及空气污染控制        废水处理等技术
......





1.粉末类
陶瓷粉末、碳化钨粉末、堆焊熔覆粉末、钛粉末、锌粉、聚乙烯粉末、铝粉末、自熔性合金粉、铬粉末、铁粉末、钴粉末、镍粉末、复合粉、铝青铜粉、铁铝钼粉、不锈钢粉




(3)等离子喷涂材料

2.丝材类:

锌丝、陶瓷棒、纯镍丝、氧化铝钛棒、氧化铬棒、弹簧钢丝、镍铝青铜丝、不锈钢丝、镍铬丝、合金丝



四、纳米材料制备设备及辅助系统(部分)


A.纳米碳纳米材料
1.石墨烯
2.富勒烯
3.碳纳米管
B.纳米金属及其氧化物材料
1.纳米银
2.纳米金
3.纳米氧化铝
4.纳米氧化铁等
......

(1)纳米材料类

离心机 

紫外光刻

磁控溅射 

分子设计软件
设计工具
实验室粉体制备

等离子体刻蚀机 

SEM/FIB双束系统
......





(2)纳米分析与检测类


纳米研磨设备
干湿法研磨
卧式砂磨机
珠式砂磨机
三棍研磨机
......


(3)纳米粉体材料装备


聚合物真空喷涂
真空喷涂设备配件
UV涂装设备
涂装治具
涂装喷枪
机器手
......


AF防指纹等离子喷涂
......


五、真空镀膜关联喷涂装备及辅助系统(部分)

六、材料表面处理技术及装备辅助系统(部分)

真空碳氢清洗设备
等离子清洗设备

等离子体监控设备

激光抛光设备
超声波清洗设备
......

碳氢清洗液
超声波清洗液
退镀液
......



(1)清洗装备

(2)清洗溶液类

七、涂层与薄膜技术行业辅助提供服务商(部分)

软件PLC编程服务商
设备维修与保养服务商
设备搬迁服务商
TFC光学软件膜系设计服务商
工艺调试服务商

代理销售服务商
二手设备买卖服务商
设备租赁服务商
其他辅助服务商

......


八、涂层与薄膜应用材料及辅助系统(部分)

(1)溅射靶材类

贵金属靶材
高纯金属靶材
高纯合金靶材
氧化物靶材
碳化物靶材
硼化物靶材
硫化物靶材
混合物靶材
......

(2)光学蒸发膜料分类

高纯金属材料
合金蒸发材料
一氧化物
二氧化物
三氧化物
五氧化物
氟硅烷膜料
其他合成膜料
......

(4)蒸发加热源分类

4.坩埚类

1)铜坩埚

2)硼坩埚

3)钽坩埚
4)钨坩埚
5)钼坩埚
......

(5)镀膜专用涂料分类

UV光固化专用底漆
UV光固化专用面漆
UV光固化中涂专用涂料
UV-TPU材质专用涂料
热固化镀膜专用底漆
热固化透明面漆
热固化皱纹专用底漆
热固化裂纹专用底漆
热固化羽纹专用面漆
镀膜专用纳米色浆
镀膜专用染料色精
......

高纯铝丝/粒/片
高纯银丝/粒/片
高纯铟丝/粒
高纯锡丝/粒
铟锡合金丝/粒
高纯铜粒/丝
高纯锌粒/丝
镍铬合金丝/粒
高纯金丝/粒

防指纹药丸
......

(3)电阻蒸发镀膜材料分类

(7)靶材绑定服务

溅射靶材绑定
绑定超声探测

......

(6)其他上游原料材料

高纯金属粉末
高纯金属材
高纯氧化物
高纯氮化物
高纯硫化物
高纯硼化物
高纯混合物
......






1.加热钨丝类



2.加热钼丝类


3.蒸发舟类

1)钨蒸发舟

2)钼蒸发舟

3)钽蒸发舟

4)硼化物舟

......



(8)高纯粉末配套提供商

铬粉未
铟锭
银锭
硅粉
其他粉末

......


九、涂层与薄膜分析检测仪器辅助系统(部分)


(1)测量检测仪器类(部分)

膜厚仪
色差仪

金相测试仪
耐磨仪器
产品检测仪器
光学(电子)显微镜
材料试验机
化学分析仪

超精确度测量仪器
电子显微镜(SEM, TEM)
激光粒度仪
颗粒计数器
白光干涉仪
ZETA电位分析




震动耐磨仪器
老化测试仪器
电子探针谱仪器
红外碳硫分析仪器
透射电子显微镜TEM
等离子体激发光源ICP
俄歇电子能谱仪器AES

X射线光电子能... 
原子力显微镜 

SEM/FIB双束系统




硬度仪
硬度计

气相色谱 
液相色谱 
球磨仪器
纳米压痕仪
金相试样制备装置
超声波检测装置
X-射线衍射仪
冷却速度测定仪




盐雾测试仪器
氦气质谱检漏仪
RCA纸带摩擦仪器
X射线衍射仪XRD
扫描电子显微镜SEM
原子吸收光谱仪器AAS
电感偶合等离子体质谱仪ICP-M
......



金相显微镜
表面轮廓仪
大腔体扫描电镜
场发射扫描电镜(SEM)
扫描探针显微镜(SPM)
透射电子显微镜
二维探测器X射线衍射仪
X射线光电子能谱仪(XPS) 
共聚焦显微拉曼光谱仪
划痕测试系统
盐雾试验箱 



维氏压痕
纳米压痕

电化学工作站

台式电子万能试验机
光谱型椭偏仪
分光测色计
智能傅里叶红外光谱仪
四探针电阻测试仪
表面张力/动态接触角测试仪
分析天平



十、涂层与薄膜技术领域(部分)

高耐摩擦涂层技术 
色彩装饰薄膜技术 
耐磨损涂层技术 
耐高温涂层技术 
耐腐蚀涂层技术 
自润滑涂层技术 
抗冲击涂层技术 
抗氧化涂层技术 
高反射薄膜技术 
减磨擦涂层技术 
超硬质涂层技术 
隔热涂层技术 
抗热涂层技术 
绝缘涂层技术 
绝缘薄膜技术 

压电薄膜技术 
超导薄膜技术 
导热薄膜技术 
导电薄膜技术 
防雾薄膜技术

滤色薄膜技术
聚光薄膜技术
扩散薄膜技术
光记忆薄膜技术
光刻掩膜薄膜技术
透电体薄膜技术
派瑞林薄膜技术
磁性薄膜技术
磁性记录薄膜技术

光热磁记录薄膜技术

防水薄膜技术 
防结冰薄膜技术 
防污垢薄膜技术 
阻水阻氧薄膜技术 
光致变色薄膜技术 
电致变色薄膜技术 
热致变色薄膜技术 
等离子刻蚀技术

离子清洗等技术 

离子和等离子体浸没注入 
折射率薄膜技术  
吸收薄膜技术 
非透明薄膜技术

减反射薄膜技术 
偏振薄膜技术

偏光薄膜技术 
干涉薄膜技术 
增透薄膜技术 
分光薄膜技术
离子氮化技术 
真空退火技术
真空回火技术
真空淬火技术
真空渗碳技术
真空干燥技术
真空消泡技术
真空密封技术
真空封装技术
......






十一、涂层与薄膜工业应用行业(部分)




建材装饰行业     

幕墙玻璃行业
酒业包装行业    

高档餐具行业
运动器材行业 
音响器材行业 
高端卫浴行业
美容器材行业   
磁性材料行业



锁具行业                    

鞋材行业
电子烟行业

高档纺织行业

纺织机械行业

家用电器行业      
塑料包装行业             

化妆品外包装行业

灯饰行业

激光行业

性用品行业

文具行业

其他...


工模具刀具行业 
轨道交通行业
海洋工程行业 
检测分析仪器行业
石油管道行业 
电子元器件行行产业  

光伏/太阳能行业
珠宝首饰行业
摄像头行业 
电池行业
钟表行业
眼镜行业


手机行业
汽车行业
半导体行业
光通讯行业
精密光学行业

航天航空行业
显示面板行业
军品装备行业
精密轴承行业
精密量具行业
内燃机配件行业




医疗行业应用



眼科
头戴式光学器件
微透镜和阵列
传感器
照相机
内窥镜
腹腔镜
关节镜
一次性用品
医学成像
牙科成像
分子成像
照明
血液分析仪
微型显示器
视频眼镜


LED光学和照明应用


飞机照明
机场照明 
医疗照明 
汽车照明 
建筑照明 
线性LED透镜
移动照明设备
导光管
微透镜和阵列
光纤



数码相机
PC外围设备
视频会议相机
移动成像
玩具
烟雾探测器
微型显示器
运动传感器
光学USB连接器
测距仪 


消费类产品应用


显微镜
分光镜
计量
机器
量规
实验室设备
测试片Test 
气体分析仪
望远镜 


科研行业应用



光学镀膜技术与工业应用



商业和工业应用



条形码扫描仪
投影和显示
微型透镜和阵列
运动传感器
太阳能
半导体
虚拟现实
消防和安全
照明
激光准直仪
气体分析仪
扫描镜
烟雾探测器
光学比较器
视频测量机
显微镜物镜
硅晶片
视频眼镜
3D投影
望远镜
机器视觉
复制原版
平视显示器 


国防与安全应用


激光制导光学器件
夜视光学器件
军用LED照明
法规光学器件
目镜
平视显示器
头盔安装的显示器
目镜显示器
战术通信
2D / 3D扫描仪
国土安全
烟雾探测器光学器件
火控系统
测距仪
气体分析仪
扫描镜
微型显示器
探测器
视频眼镜
火炮瞄准具



十二、涂层与薄膜加工服务(部分)

刀具硬质涂层镀膜行业
军品装备真空镀膜行业
手机配件真空镀膜行业
手机玻璃光学镀膜行业
手机外壳真空镀膜行业
红外镜头真空镀膜行业
精密量具真空镀膜行业
声学产品真空镀膜行业
电池行业真空镀膜行业
石油管道真空镀膜行业
模具硬质涂层镀膜行业
电致变色玻璃镀膜行业
生物医疗器械镀膜行业
钟表真空镀膜行业
贵金属真空薄膜行业
光通讯真空镀膜行业
滤波器真空镀膜行业
活塞环真空镀膜行业
摄像头光学镀膜行业
券钞币真空镀膜行业
水晶工艺品真空镀膜行业


薄膜太阳能真空镀膜行业
新型显示器真空镀膜行业
柔性线路板真空镀膜行业
汽车内外装饰件镀膜行业
汽车抬头显示玻璃镀膜行业
海洋工程部件防腐镀膜行业
防电磁波干扰真空镀膜行业
柔性材料卷绕真空镀膜行业
不锈钢装饰建材真空镀膜行业
半导体集成电路真空镀膜行业 
精密轴承固体润滑涂层镀膜行业
小五金装饰件真空镀膜行业

厨具真空镀膜行业
冥纸真空镀膜行业
冥币真空镀膜行业
日用品真空镀膜行业
眼镜架真空镀膜行业
金银线真空镀膜行业
无纺布真空镀膜行业
紧固件真空镀膜行业

箱包扣真空镀膜行业



电子烟外壳真空镀膜行业
眼镜片光学真空镀膜行业
化妆品外壳真空镀膜行业
家具装饰件真空镀膜行业
磁性材料真空镀膜行业
运动器真空镀膜行业
汽车灯具真空镀膜行业

乐器真空镀膜行业

泳镜真空镀膜行业
锁具真空镀膜行业
鞋材真空镀膜行业
餐具真空镀膜行业
卫浴真空镀膜行业
贴片电感真空镀膜行业
记忆存储真空镀膜行业
挤压丝杆真空镀膜行业
薄膜电容真空镀膜行业
视窗贴膜真空镀膜行业
电子元器件真空镀膜行业
发动机部件真空镀膜行业
珠宝首饰品真空镀膜行业




渔具装饰真空镀膜行业
灯饰装饰真空镀膜行业
头盔镜片真空镀膜行业
汽车轮毂真空镀膜行业
汽车贴膜镀膜真空行业
幕墙玻璃真空镀膜行业
穿戴配件真空镀膜行业
陶瓷瓷砖真空镀膜行业
宝石装饰真空镀膜行业
装饰玻璃真空镀膜行业
水钻真空真空镀膜行业
佛具装饰真空镀膜行业
发饰装饰真空镀膜行业
刀剪真空真空镀膜行业
文具装饰真空镀膜行业
酒具包装真空镀膜行业
陶瓷工艺品真空镀膜行业
............




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